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篤摯儀器*的美國api激光干涉儀測量21中參數(shù)：包括線性定位誤差、直線度誤差、垂直度的偏擺角、俯仰角和滾動角。XD系列激光干涉儀約在2000年進入中國市場，是后來者，結(jié)合激光干涉技術(shù)和光電自準直技術(shù)：不僅可用于精度的zui終評價也可用于機床的安裝調(diào)整。
美國API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子記數(shù)，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到zui小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。
美國API激光干涉儀XD Laser的特點：
¾ 一次安裝能測量6項精度指標
¾ 包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、
¾ 偏擺角、俯仰角、滾動角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
¾ 兩點調(diào)光線. 無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
¾ 傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調(diào)試
