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菲希爾FISCHER X射線XULM240
菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240關鍵技術規(guī)格
X 射線源：50 kV/50 W 鎢靶微聚焦 X 射線管；
準直器與濾片：4 個電動切換準直器（最小 0.05×0.05 mm），3 個自動切換初級濾片；最小測量點約 0.09×0.09 mm；
探測器：比例計數(shù)管，高計數(shù)率，縮短測量時間；
觀測系統(tǒng)：500 萬像素彩色視頻顯微鏡，38×–184× 變焦，可實時觀察測量點；
樣品空間：樣品高度 170 mm，測量距離 0–27.5 mm 可調；
精度表現(xiàn)：Au>0.1 μm 時，標樣校準誤差 <±5%，無標樣 <±10%；80 nm 金鍍層重復精度達 2.5 nm，COV<5%；
軟件：配套 WinFTM® 專業(yè)軟件，支持數(shù)據(jù)實時傳輸、自動校準、統(tǒng)計分析、自定義報告導出；
安全：通過型式批準的全防護設備，符合 RoV 等法規(guī)要求。
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