菲希爾X射線測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心技術(shù)與工作原理

測(cè)量原理：X 射線熒光法 (XRF)，通過(guò) X 射線激發(fā)樣品表面鍍層，分析熒光信號(hào)強(qiáng)度反推鍍層厚度與元素成分，實(shí)現(xiàn)非破壞性檢測(cè)

關(guān)鍵組件：

可選：帶玻璃窗口或鈹窗口的鎢靶微聚焦 X 射線管（ 50kV/50W）

比例計(jì)數(shù)器探測(cè)器（高計(jì)數(shù)率，提升測(cè)量速度與精度）

4 個(gè)自動(dòng)切換準(zhǔn)直器（0.05×0.05mm 至 ?0.3mm）+ 3 個(gè)自動(dòng)切換基本濾片

內(nèi)置 500 萬(wàn)像素彩色視頻顯微鏡（38x-184x 變焦），定位精度達(dá)微米級(jí)

菲希爾X射線測(cè)厚儀關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別規(guī)格詳情

測(cè)量范圍鍍層厚度：0.005-50μm（納米級(jí)精度）

測(cè)量精度Au>0.1μm 時(shí)：標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn) <±5%，無(wú)標(biāo)樣 <±10%；80nm 金鍍層重復(fù)精度達(dá) 2.5nm

測(cè)量點(diǎn)尺寸最小 0.05×0.05mm（微聚焦管），適配微小零件與精細(xì)結(jié)構(gòu)

樣品高度17cm，測(cè)量距離 0-27.5mm 可調(diào)

工作臺(tái)配置固定支撐臺(tái) / 手動(dòng) XY 工作臺(tái)，可選電動(dòng) XY 自動(dòng)定位

軟件系統(tǒng)WinFTM® 專業(yè)分析軟件，支持?jǐn)?shù)據(jù)實(shí)時(shí)傳輸、報(bào)告生成與導(dǎo)出

設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)符合 DIN ISO 3497 與 ASTM B 568 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)