菲希爾X射線測(cè)厚儀XDV-SDD

菲希爾X射線鍍層測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD核心硬件配置

1. 探測(cè)核心（整機(jī)優(yōu)勢(shì)）

50mm2 大面積 SDD 硅漂移探測(cè)器，半導(dǎo)體制冷，Mn-Kα 分辨率≤140eV，低能元素靈敏度拉滿，可直接測(cè)空氣中 Al、P，超薄鍍層檢出極限達(dá) 2nm 金層

自研DPP + 數(shù)字脈沖處理器：超高計(jì)數(shù)率，同等精度下測(cè)量時(shí)長(zhǎng)縮短 50%，批量檢測(cè)效率大幅提升，重復(fù)性更穩(wěn)定

2. X 射線激發(fā)系統(tǒng)

鎢靶微聚焦 X 射線管，三檔高壓 10/30/50kV 自動(dòng)切換

4 檔電動(dòng)切換準(zhǔn)直器：最小光斑 φ0.25mm，最大 3mm 大光斑（大面積樣品提速）

6 組自動(dòng)切換濾光片，針對(duì)鎳磷、貴金屬、多層鍍層優(yōu)化激發(fā)條件

3. 自動(dòng)測(cè)量平臺(tái)

可編程高精度 XY 電動(dòng)工作臺(tái)，定位精度＜5μm，支持矩陣批量自動(dòng)掃描

電動(dòng) Z 軸升降，測(cè)量距離 0–80mm，DCM 距離補(bǔ)償，高低異形工件無(wú)需反復(fù)校準(zhǔn)

樣品最大容納高度 140mm，兼容大尺寸、異形五金、PCB、晶圓

高清彩色 CCD 顯微鏡頭 + 1 級(jí)安全激光定位，十字標(biāo)線可視化定點(diǎn)測(cè)量

4. 基礎(chǔ)參數(shù)

可測(cè)元素：Al (13) ~ U (92)，最多同步分析 24 種元素

成分檢出下限：低至 ppm 級(jí)，塑料中 Pb 檢出≈2ppm，滿足 RoHS 嚴(yán)苛限值

整機(jī)重量：45kg，全封閉輻射防護(hù)倉(cāng)，開蓋自動(dòng)斷 X 光

配套軟件：WinFTM® 專業(yè)分析軟件，鍍層厚度、元素含量、圖譜、報(bào)表一體化輸出